LCD displey ishlab chiqaruvchilari uchun PR tozalash avtomatlashtirilgan ishlab chiqarish liniyasining asosiy uskunalari
PR (fotorezist) tozalash avtomatlashtirilgan ishlab chiqarish liniyasi LCD displey ishlab chiqarishda asosiy nam texnologik uskunadir. U asosan massiv substratida fotolitografiya jarayonidan so'ng fotorezist qoldiqlarini, qirqish qoldiqlarini va sirt mikro{1}}ifloslantiruvchi moddalarni yaxshilab olib tashlash uchun ishlatiladi. Bu panel sxemasining aniqligini ta'minlash va mahsulot rentabelligini oshirish uchun muhim uskunadir. 100-sinf toza xonasining qattiq ishlab chiqarish muhitiga juda mos keladi, u yuqori{5}}aniqlik, avtomatlashtirilgan va ifloslanishsiz-yopiq halqa-tozalash operatsiyalariga erishadi.
Fotolitografiya jarayonidan keyin ijobiy va salbiy fotorezist qoldiqlarini maqsad qilib olgan holda, u fotolitografiyadan keyin qolgan qoldiqlarni, organik ifloslantiruvchi moddalarni, chang zarralarini va boshqa aralashmalarni chuqur tozalash uchun ko'p bosqichli ultratovushli tozalash + toza suv bilan yuvish jarayonidan foydalanadi. U 0,5 mkm dan past bo'lgan mikroskopik qoldiqlarni yaxshilab olib tashlashi mumkin, bu paneldagi ochiq kontaktlarning zanglashiga olib kelishi, yorqin dog'lar va nopokliklardan kelib chiqqan Mura dog'lari kabi nuqsonlarning oldini oladi. 0,1 mkm balandlikdagi{6}}aniqlikdagi filtrlash tizimi bilan birgalikda u ikkilamchi ifloslanishning oldini oladi. U mukammal, shikastsiz{8}}olib tashlashga erishadi, qoldiq yopishtiruvchi qatlamlarning keyingi silliqlash va qoplama jarayonlariga ta'siridan qochadi, 100% qoplanish darajasi.
O'rnatilgan ESD elektrostatik boshqaruv moduli ±100V dan kam yoki unga teng diapazondagi elektrostatik qiymatni qat'iy nazorat qiladi. Boʻshliqqa qarshi{3}}statik material va kontaktsiz magnit gʻildiraklarni uzatish texnologiyasi bilan birgalikda u elektrostatik zaryadsizlanishning panelning aniq sxemasiga zarar yetkazishidan qochadi, shu bilan birga, shisha taglik ustida ishqalanish natijasida tirnalgan, parchalanishi va chang paydo boʻlishining oldini oladi va shu bilan substratning ichki qatlamini maksimal darajada himoya qiladi.
Yuqori va past haroratli doimiy haroratli sinov kamerasi
LCD displey ishlab chiqaruvchilari uchun avtomatlashtirilgan tozalash va quritish ishlab chiqarish liniyasi uskunasining yadrosi ikkita quritish rejimini o'z ichiga oladi: havo pichog'i bilan kesish va doimiy-haroratli issiq havoda quritish. Bu substrat yuzasidan suv dog'larini tezda olib tashlaydi, suv belgilarini-erkin va izsiz-quritadi. Quritgandan so'ng, substrat sirtining namligi nolga yaqinlashadi, ikkinchi darajali ishlov berishsiz keyingi jarayonga to'g'ridan-to'g'ri o'tishga imkon beradi, jarayonning uzluksizligini ta'minlaydi. PLC boshqaruv tizimi yuklash, joylashishni aniqlash, tozalash va tushirishning to'liq avtomatlashtirilgan{6}}yopiq siklida ishlashini ta'minlaydi. U eritma konsentratsiyasini, haroratni, namlikni va tozalikni sozlash uchun haqiqiy{8}}vaqt monitoringi va signal funksiyalarini qo‘llab-quvvatlaydi. Muhrlangan kamera va gradient salbiy bosim dizayni kimyoviy gaz oqishini oldini oladi. 100-sinfdagi toza xonaning musbat bosim muhiti bilan birgalikda u oʻta toza suvni qayta ishlash va chiqindi suyuqliklarni tasniflash va qayta tiklash imkonini beradi, energiyani tejash va atrof-muhitni muhofaza qilish talablariga javob beradi.
An'anaviy qo'lda tozalash bilan solishtirganda, to'liq avtomatlashtirilgan PR tozalash ishlab chiqarish liniyalari o'zgarmas afzalliklarga ega: tozalash samaradorligi 3 baravardan ko'proq oshadi va bir smenada 10 000 ga yaqin shisha tagliklarni qayta ishlash mumkin, bu jarayon tsiklini sezilarli darajada qisqartiradi; tozalash konsistensiyasi a'lo darajada bo'lib, 0,5 mkm dan kichikroq mikro{3}}qoldiqlarni yaxshilab olib tashlaydi, paneldagi nuqsonlar tezligini 0,5 PPMgacha nazorat qiladi, ekrandagi yorqin dog'lar, qora nuqtalar va kontaktlarning zanglashiga olib kelishi kabi nuqsonlarni samarali oldini oladi; uskuna suv{6}}tejamkor va energiyani tejovchi dizaynni, yuqori sof suvni qayta tiklash tezligi va oqava suvlarni yig'ish va tozalash bo'yicha tasniflangan, atrof-muhitni muhofaza qilish ishlab chiqarish talablariga javob beradigan dizaynni qabul qiladi; butun mashina korroziyaga chidamli PVX va SUS304 zanglamaydigan po'latdan- ishlab chiqarilgan bo'lib, kuchli muhrlangan, oson tozalash va texnik xizmat ko'rsatish xususiyatiga ega va toza xonalarda 24 soat uzluksiz ishlashga mos keladi va LCD displey ishlab chiqaruvchilari uchun yuqori sifatli mahsulotlarni yaratish va asosiy raqobatbardoshlikni oshirish uchun standart uskunaga aylanadi.
LCD displey ishlab chiqaruvchilarining fotolitografiya ustaxonasida asosiy uskunalar
Ekspozitsiya uskunasi fotolitografiya ustaxonasining asosiy uskunasi va LCD massivlarini ishlab chiqarish jarayonida asosiy jarayon sohasidir. Panel litografiya mashinasi sifatida ham tanilgan, u yuqori aniqlikdagi-optik nam ishlov berish qurilmasidir. Uning asosiy vazifasi paneldagi mikrosxemalarning shakllanishi uchun hal qiluvchi ahamiyatga ega bo'lgan optik ta'sir orqali fotorezist bilan qoplangan shisha substratga substrat sxemasi dizayni naqshini o'tkazishdir. Sxema naqshini fotomaskadan shisha substratga aniq o'tkazish displey ekranining sifatini to'g'ridan-to'g'ri aniqlaydigan keyingi etching, qoplama va PR tozalash jarayonlari uchun zaruriy shartdir. Uskunada{6}}kontaktsiz taʼsir qilish jarayoni qoʻllaniladi, u-katta oʻlchamli, ingichka LCD shisha tagliklari uchun mos keladi, taglik tirnalishi, shikastlanishi va ifloslanishidan saqlaydi.
Asosiy texnologik jihatlarga mikron-darajadagi yoki hatto pastki{2}}mikron-darajadagi yuqori aniqlikdagi hizalash tizimi kiradi, bu koʻp qatlamli sxemalar stackingida bir necha mingdan bir necha ming diametrgacha boshqariladigan xatolar bilan nol hizalanishni taʼminlaydi; ta'sir qilish energiyasining o'zgarishiga erishish uchun yagona ta'sir qiluvchi yorug'lik manbasi va dinamik fokuslash texnologiyasidan foydalanish.<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Butun ustaxona 589nm monoxromatik sariq yorug'lik manbasidan foydalanadi, ultrabinafsha, ko'k va oq yorug'lik kabi qisqa to'lqin uzunlikdagi yorug'liklarni to'liq filtrlaydi va bu nurlarning fotorezistda fotokimyoviy reaktsiyalarni muddatidan oldin qo'zg'atishi, naqshning noto'g'ri moslashuvi, qisqa tutashuvlar va to'liq bo'lmagan tutashuvlar kabi halokatli nuqsonlarni keltirib chiqarishining oldini oladi. Yoritish tizimi adashgan yorug'lik oqishini oldini olish uchun ajratilgan sariq LEDlar va ikki{3}}qatlamli filtrlar kombinatsiyasidan foydalanadi; eshiklar, derazalar va kuzatuv oynalari ultrabinafsha nurlarga qarshi{4}}filtr materiallari bilan jihozlangan; Uyali telefonlar, kameralar, yuqori quvvatli chiroqlar va boshqa tashqi yorug'lik manbalari ustaxonada bo'lishi qat'iyan taqiqlanadi va fotorezistning manbadan muddatidan oldin ta'sir qilish xavfini bartaraf etish uchun to'liq hududda yorug'lik tartib-intizomini nazorat qilish amalga oshiriladi.
LCD displey ishlab chiqaruvchilari uchun 100-sinf toza xonalariga kirish
Yuqori aniqlikdagi LCD displey ishlab chiqarish sohasida 100-sinf toza xonalari (ISO 5-sinf toza xonalari) asosiy ishlab chiqarish ob'ekti bo'lib, ishlab chiqaruvchining texnik kuchi va mahsulot rentabelligining asosiy ko'rsatkichidir. Ular BOE, TCL CSOT, HKC va Tianma kabi yetakchi displey kompaniyalari tomonidan massiv, hujayra yig'ish va modullarni qadoqlash kabi asosiy jarayon bosqichlarida keng qo'llaniladi. Bu toza xonalarda qat'iy tozalik standartlari mavjud bo'lib, ularda 100 dan ko'p bo'lmagan to'xtatilgan chang zarralari diametri 0,5 mkm dan katta yoki unga teng (kubometr uchun 3520 dan kam yoki teng). Bu tozalik darajasi chang, statik elektr va kimyoviy ifloslantiruvchi moddalarning aniq jarayonlarga xalaqit berishiga yo'l qo'ymaslik uchun "qattiq to'siq" bo'lib xizmat qiladigan tibbiy operatsiya xonalaridan ancha yuqori. Bu ekranning tasvir sifati, ishlash muddati va rentabellik darajasini bevosita aniqlaydigan asosiy apparat komponentidir.
Seminar qat'iy ravishda ISO xalqaro va mahalliy standartlarga muvofiq ishlab chiqilgan va qurilgan. U vertikal bir yoʻnalishli havo oqimi rejimini oʻzlashtirib, toʻrt bosqichli ULPA filtrlash tizimi (oldindan{2}}filtr, oʻrtacha{3}}samaradorlik filtri, yuqori-samaradorlik filtri va ultra{5}}yuqori{6}}samaradorlik filtri) bilan birgalikda filtrlash samaradorligini 99 foizga, 99 foizga etadi. changni tozalash va havo oqimining o'lik zonalarini yo'q qilish. Bir vaqtning o'zida barcha o'lchamlarda atrof-muhitning aniq nazoratiga erishiladi: doimiy harorat 23±1 daraja, nisbiy namlik 45%-55% darajasida nazorat qilinadi, toza hududda ijobiy bosim holati saqlanadi va qo'shni hududlar orasidagi bosim farqi 10Pa dan katta yoki unga teng bo'lib, tashqi changning kirib kelishini butunlay oldini oladi; displey panellarining elektrostatik shikastlanishga moyilligini inobatga olgan holda, anti{15}}statik epoksi{17}}oʻz-oʻzidan tekislanadigan pol qoplamasi qoʻllaniladi va devor va shiftlar uchun 304 ta zanglamaydigan poʻlatdan va toza xona rangli poʻlat plitalardan foydalaniladi, jarayon davomida statik elektr qiymatlari qatʼiy nazorat qilinadi; fotolitografiya, yupqa plyonka yotqizish va suyuq kristallni in'ektsiya qilish kabi nano o'lchamdagi jarayonlar talablariga javob beradigan molekulyar{18}}darajali VOC kimyoviy ifloslantiruvchi moddalar va mikro-tebranishlar kabi yashirin shovqinlar uchun qo'shimcha nazorat taqdim etiladi.
Ustaxona 100-sinf yadro maydoniga, 1000-sinf bufer maydoniga va 10000-sinf yordamchi zonasiga boʻlingan, qatlamlar oʻzaro ifloslanishning oldini-bilan, xodimlar va avtomatlashtirilgan material konveyer liniyalari toʻliq ajratilgan toza xonani qatlamli rayonlashtirish loyihasini qabul qiladi. Xodimlar kiyim almashtirish, havo dushi va elektrostatik aniqlashning uch martalik jarayonidan oʻtishi kerak va faqat toʻliq{6}}toza xona kostyumi, changdan tozalangan-qoʻlqop va koʻzoynak taqib yurgandan keyingina kirishi mumkin; materiallar blokirovka qilingan uzatish oynalari orqali uzatiladi va chang va statik elektrni tozalashdan o'tadi; 24 soat real vaqt rejimida monitoring va ma'lumotlarni kuzatib borish uchun ichki qism FFU laminar oqim qalpoqlari, onlayn zarrachalar hisoblagichlari, harorat va namlik sensorlari, differensial bosim monitorlari va boshqa uskunalar bilan jihozlangan va doimiy ekologik barqarorlikni ta'minlash uchun g'ayritabiiy ko'rsatkichlar bo'lsa, darhol ogohlantirishlar chiqaradi va tuzatishlar kiritadi.
